电子工业用六氟化硫

。
制法：以工业六氟化硫为原料，经吸附干燥，冷冻固化，真空脱气，可制得高纯六氟化硫产品。
用途：作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。新一代超高压绝缘介质材料。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺力Ⅱ气体。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。
安全性：我国规定，操作间空气中六氟化硫气体的允许浓度不大于6g／m³或空气中氧含量应大于18％；短期接触，空气中六氟化硫气体的允许浓度不大于7.5g／rn³。吸入80％六氟化硫＋20.％的氧气的混合气体几分钟后，人体会出现四肢麻木，甚至窒息死亡。防止阳光直射。六氟化硫是一种窒息剂，在高浓度下会呼吸困难、喘息、皮肤和黏膜变蓝、全身痉挛。应与易燃或可燃物分开存放。贮存于阴凉、通风仓库内。仓内温度不宜超过45℃。远离火种、热源。